Optino 波前测试技术与干涉仪技术对比

Optino 波前测试系统相对于干涉仪的优点

? ?干涉仪 ?Optino 波前系统
1 购买、运行、维护费用高 非常便宜
2 系统体积大,需要大型光学平台 结构紧凑,普通桌子就可以
3 需要昂贵的隔振平台 非常耐用,无需隔振,普通桌子就可以,即使重击桌子也不会影响测试结果或仪器性能
4 需要洁净室 普通干净的实验室环境足够了
5 需要控制测试现场的气流 可以在紧靠打磨机器工作现场使用
6 需要激光光源 普通光源或激光均可
7 由于激光波长范围有限,只能工作在有限的几个波长 任何波长均可工作,从193nm到1700nm,软件功能不受波长和配置的影响
8 仅限于测试平面、球面及浅度非球面测试 可以测试深度非球面元件(球形失常值达50λ
9 不能测试非规则形状元件 可以测试非规则元件,如柱面镜
10 动态范围受CCD探测器上干涉条纹限制, 方法本身具有高动态特性

Optino? vs Zygo Interferometer

通过使用Zygo GPI xp HR干涉仪和Spot-Optics公司的Optino 波前测试系统对一个硬盘上小面积(7mm)区域,进行测试对比。

右图白色圆圈位置的区域即为测试区域,是一个平整的表面,测试的波长为632nm,下图为主要测试得到的参数对比:

? ?
?去除了倾斜(Tilt), Piston and?散焦 (defocus)影响后的表面3D形貌图( Zygo )
?去除了倾斜和散焦的3D表面形貌图(Optino)

Optino? vs Veeco Interferometer

- A small area (9mm) of a flat mirror was tested using a high?
resolution Veeco interferometer.

- The same area was tested with our standard instrument Optino/Sensoft mounting a cooled CCD camera.

-Both the tests were done at 632.8nm

Veeco Optino

更多信息请浏览:?Accuracy of SpotOptics wavefront sensors.pdf



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